中硅高科承担的河南省科技创新杰出人才项目“集成电路用电子气体工艺技术及装备研究”顺利通过验收
2019-07-26        

 

      2019年4月12日河南省科技厅组织了相关专家对我公司承担的河南省科技创新杰出人才项目“集成电路用电子气体工艺技术及装备研究”进行验收。
      集成电路用电子气体工艺技术及装备研究项目主要的研发任务是研究开发电子级三氯氢硅、电子级二氯二氢硅和电子级六氯乙硅烷生产制备技术并建成相应的生产线。
      听取完项目汇报和审阅了项目相关验收材料,验收专家组给予了项目高度评价,经过专家组讨论认定由我公司承担的“集成电路用电子气体工艺技术及装备研究”项目完成了各项预定目标任务,一致同意通过验收。该项目的顺利验收意味着中硅高科向集成电路产业发展转型迈进了重要一步。






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